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晶圓表面缺陷檢測系統
所檢缺陷種類:孔洞、尺寸、位置;穿孔;顆粒污染;凹坑;水印;劃傷;淺坑;CMP凸起 檢測范圍:8寸、12寸 圖像分辨率:1.725um/像素 缺陷識別率:99% 檢測視野大小:4.5mm x 3.5mm 最小可檢孔洞缺陷大小:20um
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鋰電池隔膜檢測系統
檢測速度: 80-200m/min 產品范圍: 隔膜 分辨率: 線掃:0.05(橫向)*0.05(縱向)mm/pix; 檢測精度: 0.05mm2 過殺率/漏殺率: 漏殺率:0%,過殺率:≤0.1% 設備外形尺寸: 嵌入原設備中(定制)
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薄膜表面缺陷在線檢測系統
針對薄膜行業能檢測出不同類型的表面缺陷,并實時以圖像形式反饋出來。
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激光模切分切一體機CCD檢測系統
應用簡介說明:激光模切分切一體機尺寸及缺陷CCD檢測系統,采用CCD對極片表面進行實時拍照,實現檢測極片寬度并進行實時閉環糾偏,同時兼容極片表面瑕疵檢測,對不良片進行報警和貼標,實現對產品的自動化檢測。
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分切機CCD檢測系統
CCD在線檢測系統,檢測連續涂布極片表面瑕疵檢測、極片寬度檢測、寬度閉環糾偏、并對不良統一進行報警停機、數據統計和不良貼標等。
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單層雙層布機CCD檢測系統
涂布對齊及缺陷CCD檢測系統,采用CCD對極片表面進行實時拍照,實現檢測極片寬度并進行實時閉環糾偏,同時兼容極片表面瑕疵檢測并進行噴墨和報警 。
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