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晶圓表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)

所檢缺陷種類：孔洞、尺寸、位置；穿孔；顆粒污染；凹坑；水印；劃傷；淺坑；CMP凸起檢測(cè)范圍：8寸、12寸圖像分辨率：1.725um/像素缺陷識(shí)別率：99% 檢測(cè)視野大小：4.5mm x 3.5mm 最小可檢孔洞缺陷大小：20um

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